曝光一般在曝光机内进行,目前的曝光机依据光源冷却方式可分为风冷和水冷,曝光质量取决于除干膜致抗蚀剂、光源选择、曝光时间、菲林胶片质量等因素。
曝光不足,导致单体聚合不,那么在显影过程中,会使的胶膜变软,线条不清晰,色泽暗淡,脱胶。曝光过度,会造成难显影,留有残胶。
蚀刻曝光就是通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。曝光后的干膜有些需要放置10~15min后才能显影,这必须根据实际情况,根据干膜的要求执行。
利用稀碱溶液与光致抗蚀剂中未曝光部分的活性基团(羧基)反应,
曝光显影技术优势
1、解决3D曲面玻璃(包含四面曲)印刷难题;
2、图形转印技术单层、多层套印精度高;
3、雾化喷涂确保厚度均一性,提高致密性,降低油墨厚度;
4、采用图形转印技术,良率较高;
5、4-6寸盖板单制程产能优势明显;
6、较薄的油墨利于贴合,提高制程整体良率;
曝光显影加工是半导体工业制程中的一种加工方法,也被称为光刻工艺。该加工方法主要应用于芯片制造过程中的多个步骤中,如制造晶体管、金属线、电容、电阻等元件。通过它可以在芯片上制造出不同的图案,从而实现各种电子器件的功能。曝光显影加工是半导体工业中非常重要的一部分。曝光显影直接决定蚀刻图案的准确性,因此在菲林的制作上,需要非常准确和清晰。操作人员要规范作业,避免图案模糊或者移位影响产品品质。原文链接:http://www.jtbg.net/chanpin/10977.html,转载和复制请保留此链接。
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