大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。在强大电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成二氧化碳、水等小分子无污染成份。
很多的时候人们对有机废气处理设备不是特别了解，这种设备借助于化学物质来对有害的气体进行净化和吸收。工业厂房废气处理设备是是通过废气处理设备对工业厂房排出的废气进行处理，然后达标排放；在选择工业厂房废气处理系统的时候我们需要根据废气成分、风量大小、厂房空间这三点来选择袋式除尘器就已广泛应用于各个工业部门中，用以捕集非粘结非纤维性的工业粉尘和挥发物，捕获粉尘微粒可达0。1微米。但是，当用它处理含有水蒸汽的气体时，应避免出现结露问题。
选择环保设备：根据废气的成分来选择，不同的废气成分要选用不同的设备型号，常见的废气成分不同设备都能处理，特殊的的成分就需要特殊的设备来处理了，否则很容易处理不达标，选择正确的废气处理设备达到使用效果。有机废气分子必须具有一定波长光的特征吸收光谱，才能产生光化学反应。此外，辐照时间越长，光解效果越好。因此，利用紫外线灯对消毒柜内的细菌进行消毒，效果很好。催化燃烧设备采用不同的催化剂，具有活性高、稳定性好、机械强度高、使用寿命长、阻力小、适应性广等特点。喷淋塔对粉尘气体无要求，气体量大，脱硫除尘率高，达到或超过排放标准。